Peamised meetodid lekete tuvastamiseks vaakumisüsteemides hõlmavad järgmist:
Rõhu lekke tuvastamise meetod: See meetod on täita teatav gaasi (näiteks õhu või vesi) rõhk vaakumisüsteemi ja seejärel kontrollida, kas gaas lekib lekkepunktist välja. Konkreetsed toimingud hõlmavad vee täitmise lekke tuvastamist ja rõhu testimist. Vee täitmise lekke tuvastamine tuleb läbi viia, kui süsteem on välja lülitatud ja külm. Puuduseks on see, et see suudab tuvastada ainult paisurõhu all olevaid lekkeid. Rõhu testimise meetod on positiivse rõhugaasi täitmine ja seebivee kandmine lekkepunkti kontrollimiseks. Puuduseks on see, et see on aeganõudev ja töömahukas ning keskkond mõjutab seda suuresti.
Vacuumi lekke tuvastamise meetod: See meetod on evakueerida vaakumi olekusse testitava süsteemi evakueerimine ja seejärel lekkepunkti tuvastamine, rakendades väliselt leket tekitavat ainet. Eeliseks on see, et tuvastamist saab süsteemi toimimise ajal läbi viia, ja puuduseks on see, et tundlikkust mõjutavad keskkonnategurid.
Heliumis massispektromeetria lekke tuvastamise meetod: Kasutage heeliumit gaasina lekkinud heeliumi tuvastamiseks massispektromeetri kaudu. Sellel meetodil on kõrge tundlikkus ja see võib tuvastada äärmiselt väikeseid lekkekiirusi, kuid seadmed on kallid ja töö keeruline.
Halogeeni lekke tuvastamise meetod: Kasutage halogeeniühendeid jälgimiseks gaasidena, et määrata lekked läbi ionisatsiooni tuvastamise põhimõtte. Eelis on madalad kulud, kuid tundlikkus on heeliumi massispektromeetria lekke tuvastamine pisut halvem.
Ultraheli lekke tuvastamise meetod: tuvastage lekked, tuvastades lekete tekitatud ultrahelilained, kuid neid häirib hõlpsasti muud müra.
Vaakumisüsteemi defineerimine ja tähtsus: vaakumsüsteem viitab süsteemile, mis saavutab suletud ruumis väga puhta ja stabiilse vaakumseisundi. Vaakumisüsteemi tõhus toimimine sõltub selle tihendamisest ning leke mõjutab süsteemi jõudlust ja toote kvaliteeti. Seetõttu on vaakumlekke tuvastamine süsteemi jõudluse säilitamiseks, toote kvaliteedi parandamiseks ja ohutuse tagamiseks hädavajalik.
